Problemas do Al a) Junction spiking
{"Image DocumentName": "Problemas do Al a) Junction spiking", "Image ImageDescription": "Physical Vapor Deposition. Problemas do Al. a) Junction spiking. Na regi\u00e3o de S/D onde a linha met\u00e1lica de Al faz contacto direto com Si, o Si pode dissolver em Al. \uf0de o Al difunde no Si formando spikes de Al (junction spiking), p\u00f5e em curto S/D com o substrato e danificar o dispositivo. Efeito junction spiking.", "Image XResolution": "37", "Image YResolution": "37", "Image ResolutionUnit": "Pixels/Centimeter", "Image Software": "SlidePlayer", "Image YCbCrPositioning": "Centered"}